仪器设备指标
厂家：北京世纪东星科技有限公司
型号：RTP300
最大温度范围：150℃～1300℃
升温速率：100～200℃/s
密封石英盒内面尺寸：210×140×14
光源：1KW×13卤钨灯
用途：可用于硅及化合物半导体材料离子注入后的退火，硅化物的形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。
联系途径
实验室：科学楼412室
电话：2185170
E-mail：hqiu@xmu.edu.cn
仪器管理组
邱虹
