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快速热处理设备

发布时间: 2013-12-19

仪器设备指标

厂家:北京世纪东星科技有限公司 

型号:RTP300

最大温度范围:1501300

升温速率:100200/s

密封石英盒内面尺寸:210×140×14

光源:1KW×13卤钨灯

用途:可用于硅及化合物半导体材料离子注入后的退火,硅化物的形成,欧姆接触制备以及快速氧化,快速氮化等方面。

联系途径

实验室:科学楼412

电话:2185170

E-mailhqiu@xmu.edu.cn

仪器管理组

邱虹

 

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